CVD (化學氣相堆積)
物理有機化學工業色譜積聚法(CVD)意思是物理有機化學工業有毒氣體或水蒸氣在基本材料長相層表現形式兩極分化耐磨涂層或納米級材料的習慣,是半導體行業加工業中使用較為一般的時用積聚各種材料的技術,涉及到大人數的絕緣層材料,大大都會復合材料和復合硬質合金材料。從實際上下說,它是很概括的:兩者或兩者上文的氣態原材料引入到一表現形式屋內,后來孩子相互期間生成物理有機化學工業表現形式,組合那種新的材料,積聚到晶片長相層上。積聚氮化硅膜(Si3N4)大便一良好的例證,它是由硅烷和氮表現形式組合的。
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